首页 > 《中国科技信息》 > 2022年8期 > 电子级多晶硅生产技术分析

电子级多晶硅生产技术分析

打印

摘要摘要：电子多晶硅是制造半导体硅片最基本、最重要的原材料之一，被称为电子信息产业的“粮食”。其纯度需要达到11N。如此高的纯度对制备技术、检测技术和质量管理提出了极高的要求。长期以来，电子级多晶硅的制备技术一直被美国、德国、日本等西方国家封锁。因此，国内使用的电子级多晶硅几乎完全依赖进口，存在被“卡住”的风险。近年来，我国企业如青海黄河上游水电、江苏新华等在电子多晶硅方面取得了一些技术突破，但仍存在发展瓶颈。基于此，对电子级多晶硅生产技术进行研究，以供参考。

DOI zdl06q8mdl/6269588

作者杜静雅

机构地区 650108199404161029 830019

出处《中国科技信息》 2022年8期

关键词电子级多晶硅生产技术

分类 [][]

出版日期 2022年07月29日（中国Betway体育网页登陆平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）