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电子级多晶硅生产中氯硅烷精馏工艺的设计和优化

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摘要摘要：电子级多晶硅在当今的工业生产中有着举足轻重的地位。因此，电子级多晶硅的生产厂家必须提高产品的品质，提升生产效率。从目前国内的电子多晶硅技术发展现状来看，还存在着许多问题，亟待改进相关的生产工艺，这样才能更好地推动我国电子行业稳步发展，提高企业的生产效率。基于此，文章重点分析电子级多晶硅生产中氯硅烷精馏工艺的设计和优化，以供参考。

DOI kd2voxgpj6/7233614

作者胡俊

机构地区内蒙古鑫元硅材料科技有限公司

出处《中国电业与能源》 2023年5期

关键词电子级多晶硅氯硅烷精馏工艺设计优化

分类 [][]

出版日期 2023年06月13日（中国Betway体育网页登陆平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）