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电子级多晶硅生产中氯硅烷精馏工艺的设计和优化

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摘要摘要：目前，电子级多晶硅已成为现代产业的重要组成部分。这就要求各大厂商不断改进其质量和改进产能。从目前国内的电子多晶硅技术发展现状来看，还存在着许多问题，亟待改进相关的生产工艺，这样才能更好地推动我国电子行业稳步发展，提高企业的生产效率。基于此，文章重点分析电子级多晶硅生产中氯硅烷精馏工艺的设计和优化，以供参考。

DOI 6jrppx8pd5/7953263

作者王旭

机构地区身份证号码：152824198811033910

出处《工程建设标准化》 2023年18期

关键词电子级多晶硅氯硅烷精馏工艺设计优化

分类 [必威国际登录平台是什么][建筑理论]

出版日期 2024年01月16日（中国Betway体育网页登陆平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）