摘要
摘要:多晶硅是光导产品生产过程中较为重要的原材料,在推动电子信息产业发展过程中有着较为重要的作用。但是在进行多晶硅产品生产过程中,往往会生成四氯化硅的副产物,四氯化硅不能实现二次利用,在造成较为严重的环境污染的同时,也造成了较为严重的资源浪费。引入冷氢化技术在多晶硅生产中的应用,能够实现对四氯化硅副产物的有效转化。因此,加强冷氢化技术在多晶硅生产中的应用分析、探讨,有着至关重要的现实意义。
出版日期
2022年10月19日(中国Betway体育网页登陆平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)