简介:摘要:氢气是多晶硅生产中的主要原料之一,水电解制氢设备是多晶硅生产中不可或缺少的关键设备。本文介绍水电解制氢装置的工作原理及多晶硅行业中采取的氢气纯化系统基本工艺流程。对水电解制氢设备相关性能参数及使用特点在多晶硅行业中的优势体现做了简要的的评述和分析。
简介:摘要:多晶硅是电子及光伏产业广泛使用的重要半导体和光电子材料。西门子现代化方法是多晶硅生产的主要技术,占多晶硅产量的80%以上。在多晶硅生产过程中,三氯硅合成(TCS)、三氯硅、四氯化硅冷氢化(STC)以H2的形式生成不同量的硅。文献表明,氯硅烷含有以STC为主的硅烷、以Si2Cl6为主的硅烷、以Si3Cl8为主的硅烷、少量的硅粉和金属氯化物,其中以Si2Cl6为主的硅含量最高,通过工艺对Si2Cl6进行重组分离气相色谱分析,得出139-142℃沸腾溶液中STC冷氢和TCS计算结果表明,约84.03%的SICL6来自STC冷加氢,其余15.97%的SICL 6来自TCS+H2还原过程。虽然许多学者在分析低多晶硅的组成方面做了大量的工作,但大部分都集中在高附加值的Si2Cl6上,缺乏系统的深入分析。
简介:摘要:尾气回收是多晶硅生产的重要环节,不仅可以减少污染环境,还可以降低生产成本。多晶硅是制造集成电路、光伏太阳能电池等的关键材料。随着电子信息产业和太阳能光伏产业的快速发展,市场对多晶硅的需求不断增加。目前,制备多晶硅的主流工艺为改良西门子法,此法中三氯氢硅在还原炉内被氢气还原成晶体硅,进入还原炉的三氯氢硅仅有8%—10%左右转化成多晶硅,还原尾气中含有大量未反应的生产原料氢气(H1)、三氯氢硅(SiHCL3)和反应副产物四氯化硅(SiCl4)、氯化氢(HCL)、二氯二氢硅(SiH2Cl2)。因此对还原尾气回收综合利用既能实现物料循环利用,减少原料投入,降低多晶硅生产成本,又可以大大减少三废排放,保护环境。