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IBM联盟已准备好28nm监测工具

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摘要利用高k／金属栅工艺的优势，IBM联盟管理者称：目前用户已可得到28nm监测工具。工BM副总裁指出，有些公司可能利用多晶氧化氮栅堆栈直接由45／40nm工艺代跨越到利用高k的32／28nm工艺代。有的消费者计划一次性的由32nm“缩小”到28nm，而另一些消费者则打算由目前的65nm和45nm工艺代直接连向28nm。

DOI pd5x67rl47/855823

作者邓志杰（摘译）

机构地区不详

出处《现代材料动态》 2010年3期

关键词监测工具 IBM 联盟消费者工艺金属栅

分类 [一般工业技术][材料科学与工程]

出版日期 2010年03月13日（中国Betway体育网页登陆平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）