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半导体硅电极多通道放电机理研究

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摘要摘要：为了实现电火花加工同一时刻形成多个放电通道蚀除工件，克服现有放电加工理论中同一时刻仅有一个放电通道蚀除工件的限制，提出了采用半导体材料作为电极进行放电加工的新方法。

DOI 7dm98r9ojn/7733930

作者范博珺

机构地区青禾晶元（天津）半导体材料有限公司天津 300301

出处《未知》未知

关键词电火花半导体电极多通道放电放电等效电路极间电势分布

分类 [][]

出版日期 2023年10月27日（中国Betway体育网页登陆平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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