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微波等离子CVD低温沉积金刚石薄膜的研究

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摘要摘要金刚石具有许多优异的性能，但天然金刚石的价格也比较昂贵。金刚石薄膜的各种性质与天然金刚石几乎相同，具有非常广阔的工业前景。本文采用乙醇和氢气作为工作气源，利用微波等离子体化学气相沉积法，在较低的温度下制备了金刚石薄膜，并研究了乙醇浓度、反应气压对金刚石薄膜生长的影响。

DOI 5jo033rkjv/3981884

作者芦宝娟

机构地区芦宝娟LUBao-juan

出处《价值工程》 2014年8期

关键词

分类 [经济管理][企业管理]

出版日期 2014年08月18日（中国Betway体育网页登陆平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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