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磁镜场在直接耦合式微波等离子体CVD金刚石膜装置中的应用

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摘要在自行设计出的直接耦合石英管式微波等离子体化学气相沉积fchemicalVaporDeposition，CVD）金刚石膜装置的石英管反应腔加上磁镜场，以更好地约束等离子体，使等离子体球成为“碟盘”状，提高了等离子体球的密度，在基本参数不变的情况下，沉积面积可由ψ30mm增长到50mm，沉积速度由每小时3．3μm增长到3．8μm，反射电流减小，从而减少了在石英管壁和观察窗的沉积，更好地利用微波能量，有效利用电离的活性基团沉积出高质量的（类）金刚石薄膜。

DOI zdlo3p8pdl/749188

作者杜康;徐伟;吴智量;贺中信;彭军

机构地区不详

出处《纳米科技》 2009年2期

关键词微波等离子体化学气相沉积金刚石膜磁镜场

分类 [一般工业技术][材料科学与工程]

出版日期 2009年02月12日（中国Betway体育网页登陆平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）