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基于飞秒激光的表面微纳加工技术综述与展望

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摘要飞秒激光脉冲宽度超短、峰值功率超强,在表面微纳加工领域得到了广泛的关注和应用。简述了飞秒激光诞生至今的应用概况,然后依据不同的加工对象(金属、透明材料、聚合物)阐述了飞秒激光与其相互作用的机理,从激光烧蚀、双光子聚合加工、飞秒激光微纳加工系统3方面对飞秒激光表面微纳加工技术进行了综述,最后探讨了待解决问题并进行了展望。

DOI n49opvr74y/2189859

作者董世运;刚肖;闫世兴;王斌

机构地区不详

出处《装甲兵工程学院学报》 2016年3期

关键词飞秒激光表面微纳加工激光烧蚀双光子聚合

分类 [军事][军事理论]

出版日期 2016年03月13日（中国Betway体育网页登陆平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）