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2001年2期
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核孔膜的非常规蚀刻法
核孔膜的非常规蚀刻法
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摘要
不对称蚀刻法的分桥表明,在灵敏度不变时可以得到小孔径核孔膜。实验显示,由于孔径不均匀现象的制约,核孔膜的孔径可减小到1/2。温度梯度蚀刻法的分桥表明,导通时间的减小与膜两面的温度差成正比,在实际条件下孔径减小到1/5。模拟计算表明,采用该方法可得到控状孔核孔膜,但蚀刻过程很难控制。
DOI
34g2e9xoj9/2051631
作者
彭良强;巨新;王世成;冼鼎昌;李涛;张宝亭
机构地区
不详
出处
《北京同步辐射装置:英文版》
2001年2期
关键词
核孔膜
非常规蚀刻法
不对称蚀刻法
温度梯度蚀刻法
模拟计算
分类
[理学][物理]
出版日期
2001年02月12日(中国Betway体育网页登陆平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
北京同步辐射装置:英文版
2001年2期
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