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《光学与光电技术》
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2014年5期
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一种基于偏振光干涉的直线度测量系统
一种基于偏振光干涉的直线度测量系统
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摘要
介绍了一种基于偏振光干涉的直线度测量系统,该系统由固定部分和活动部分组成。测量时,活动部分固定在被测要素上。被测要素的直线度变化将导致两线偏振光相位的变化。通过计量干涉条纹即可得到直线度的变化结果。实验显示本测量系统具有10nm的分辨率,在20mm的测量范围内误差≤0.5μm,提高了分辨率和测量精度。
DOI
rj8enlq7j0/1442010
作者
肖胜;周易;冯胜东;康吉
机构地区
不详
出处
《光学与光电技术》
2014年5期
关键词
直线度
测量
偏振光干涉
相位
系统
分类
[机械工程][光学工程]
出版日期
2014年05月15日(中国Betway体育网页登陆平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
光学与光电技术
2014年5期
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