一种基于偏振光干涉的直线度测量系统

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    摘要 介绍了一种基于偏振光干涉的直线度测量系统,该系统由固定部分和活动部分组成。测量时,活动部分固定在被测要素上。被测要素的直线度变化将导致两线偏振光相位的变化。通过计量干涉条纹即可得到直线度的变化结果。实验显示本测量系统具有10nm的分辨率,在20mm的测量范围内误差≤0.5μm,提高了分辨率和测量精度。
    机构地区 不详
    出处 《光学与光电技术》 2014年5期
    出版日期 2014年05月15日(中国Betway体育网页登陆平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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