半导体工艺设备污染控制分析

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摘要摘要：半导体被誉为制造行业的皇冠上的珍珠，在整个信息技术行业中，它是一种战略性、基础性和先导性的行业，它的技术水准和发展规模已经变成了一个国家的工业竞争能力和综合国力的主要指标。对半导体装置的沾染的控制，会对半导体前道制程的先进程度有很大的影响。在这个方面，本文将与大家一起分享关于半导体设备污染的原因以及如何进行处理的办法。

DOI zdlkz6w8jl/7753816

作者康昌武

机构地区 321123198102237319

出处《未知》未知

关键词半导体设备工艺污染控制

分类 [][]

出版日期 2023年11月01日（中国Betway体育网页登陆平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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