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扫描电镜微米级长度测量实验中不确定度的评定方法

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摘要讨论了近代物理实验中用扫描电子显微镜（SEM）进行微米级测量长度的不确定度评定方法。

DOI ojnp580l4r/739537

作者张海良;张学骛;贾红辉;常胜利

机构地区不详

出处《大学物理实验》 2009年1期

关键词微米级测量不确定度扫描电子显微镜

分类 [理学][物理]

出版日期 2009年01月11日（中国Betway体育网页登陆平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

大学物理实验

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微米级测量不确定度扫描电子显微镜

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