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探究半导体行业废水的处理现状

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摘要摘要：随着电子技术的快速发展，国内的半导体工业的革新速度也日益提速，与此同时环境污染问题也越来越凸显，其中危害极为严重的是含有氟、铜、磷等离子的废水。本文汇总了对半导体生产过程中排出含有氟、磷、铜等重金属废水的处理情况，同时就治理废水提出可行性的解决方案。治理废水的方法形式多样，而离子交换树脂法具有稳定性强、处理工艺简单、可操作性强、吸附能力强的优势，处理废水的速度快且效果良好，处理后的废水再利用率高，逐渐成为应用广泛、市场前景良好的新型废水处理方法。

DOI 5joq97y34v/7045584

作者杨晓云聂小芳

机构地区东莞东元环境科技股份有限公司东莞市 523808

出处《中国电业与能源》 2023年4期

关键词半导体行业废水处理离子交换树脂法

分类 [][]

出版日期 2023年04月21日（中国Betway体育网页登陆平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）