摘要
摘要：光伏用多晶硅材料要求含Si＞99.9999%(6个N)以上，电子级多晶硅达到99.9999999%(9个N)以上。因其具有高纯度的特点，在整个生产过程中，对产品质量的控制要求很高。目前，生产多晶硅主要采用改良西门子法，因其转化效率一般为13%左右，大量的尾气需要回收利用，才能获得较好的经济效益与环境效益。多晶硅生产的尾气主要有还原尾气、氢化尾气和三氯氢硅合成尾气，尾气中的主要成分包括三氯氢硅(TCS)、二氯二氢硅(DCS)、四氯化硅(STS)、氢气、氯化氢等气体。各工序带来的尾气成分基本相似，但所含微量杂质不尽相同。其中还原炉内的尾气除了带有部分无定型硅之外相对较干净，氢化炉由于使用了热场材料，尾气成分总C含量增加，合成尾气则含有较高的硼(B)、磷(P)杂质和细颗粒硅粉杂质。如何有效的将这些尾气成分进行分离、提纯和回收，是决定多晶硅产品质量和生产成本的关键因素。本文主要分析多晶硅生产中尾气分置回收及应用。
出版日期
2023年04月20日（中国Betway体育网页登陆平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
