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钨金属化氧化铝陶瓷基片脱脂工艺

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摘要摘要：基于对氧化铝陶瓷及其金属化基片成型工艺的分析，进一步对氧化铝陶瓷基片脱脂工艺进行探讨，并通过实验分析湿氢气气氛对脱脂的影响，对于今后钨金属化氧化铝陶瓷基片脱脂工艺的选择具有一定的指导意义。

DOI n49k7ep7dy/7009683

作者张继巍

机构地区 610431199207173031 珠海惠友电子有限公司广东省珠海市519000

出处《工程管理前沿》 2023年4期

关键词钨金属化，氧化铝，陶瓷基片，脱脂

分类 [天文地球][工程地质学]

出版日期 2023年04月19日（中国Betway体育网页登陆平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

工程管理前沿

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钨金属化，氧化铝，陶瓷基片，脱脂

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