摘要
摘要：金刚石是自然界硬度最高的天然物质，具备许多优良的材料特性，使其在极端制造、光学窗口和微电子器件等许多领域拥有很好的应用前景。由于自身的高硬脆特性，金刚石材料的超精密加工成为一项难题，当前最简单高效的加工方式就是机械研磨法。在金刚石材料的研磨加工过程中，不可避免地会产生原子位错、原子相变等类型的损伤，影响着金刚石工件的最终研磨加工质量。因此，深入探究不同工艺参数下金刚石材料研磨损伤规律，对于改善金刚石器件的研磨工艺，提升工件研磨加工质量具有至关重要的意义。基于此，对控制磨削前角的金刚石研磨损伤进行研究，以供参考。
出版日期
2022年11月17日（中国Betway体育网页登陆平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
