摘要
摘要：电子级多晶硅是推动我国电子类行业以及新能源类行业持续前进的基础构成材料。截至2019年，全球的电子级多晶硅产能已经超过了31000吨，但是我国的电子行业中所采用的这类型基础原料依然需要依赖进口。电子级多晶硅产品对于质量的把控要求是极为严格的，目前，国内采用的生产手段主要有硅烷热分解以及三氯氢硅氢还原方式这两种类型，而全球基本上所有的多晶硅企业都会选择三氯氢硅氢还原的生产工艺来制种电子级多晶硅产品，目前国内也开始逐步与国际市场相互接轨，选择了较为常见的工艺手段生产该类型多晶硅原材料。本文主要是分析了采用三氯氢硅氢还原工艺制作多晶硅的过程中影响多晶硅品质的因素，并且就电子级多晶硅的生产工艺概况进行了探讨，希望能够为提升我国电子级高纯多晶硅生产工艺水平提供参考意见。
出版日期
2022年10月20日（中国Betway体育网页登陆平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
