摘要
摘要:为了适应TFT-LCD显示屏超高分辨率极细布线的趋势，降低TFT-LCD有机绝缘膜附着性带来的损失，提高产品品质，本文研究TFT-LCD有机绝缘膜附着性改善研究。实验以有机绝缘膜附着性为主，有机绝缘膜附着性的方式，结合有机绝缘膜，具有精确控制有机绝缘膜侧壁切口角度和线宽的粘附能力，以及使用有机绝缘膜的选择优于优于优于优于优于改善表面烧蚀绝缘层，减少了对仪器活性层的干腐蚀，避免氧激活层，防止腐蚀副产品污染孔表面。实验结果表明，干法辅助湿法雕刻可作为消除腐蚀过程中雕刻和残留问题的基础，使有机绝缘膜因孔隙率差而损耗减少73%以上，TFT源泄漏接触电阻降低90%左右，仪器的开态电流增加约15%。干法辅助湿法酸洗是优化应用过程、提高产品性能的一种新方法。
出版日期
2022年07月06日（中国Betway体育网页登陆平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
