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半导体器件的检测与失效分析

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DOI g4qry2o7j8/5436300

作者高韶宾1 2 晋李华1 2

机构地区（1.石家庄麦特达电子科技有限公司，石家庄，050000；2. 中国电子科技集团公司第十三研究所，石家庄 050050）

出处《科学与技术》 2021年11期

关键词半导体器件，检测，失效分析，无损检测，破坏性分析

分类 [必威国际登录平台是什么][建筑技术科学]

出版日期 2021年08月16日（中国Betway体育网页登陆平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

科学与技术

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半导体器件，检测，失效分析，无损检测，破坏性分析

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