Photolithography by a tunable electro-optical lithium niobate phase array

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    摘要 影印石版术实验与electrooptically悦耳的阶段步借助于一个光阶段面具被执行。阶段面具由转换铁电体领域的六角形的格子在z切割锂niobate底层上制作了的2-dimensional组成。电镀物品光学地悦耳的阶段步在转换领域之间,被一个外部电场的应用程序经由透明电极沿着水晶的z轴获得。氩激光的瞄准横梁通过阶段面具和近的领域紧张模式,在Talbot长度并且为应用电压的不同价值的不同飞机,被用于光刻的实验。初步的结果被显示出,进一步的应用被讨论。这研究部分是的CLC数字TN305在FIRB工程以内由MIUR资助了(没有。RBNE01KZ94)并且部分由MIUR工程(号码77DDN.1105/2002)。
    机构地区 不详
    出版日期 2007年04月14日(中国Betway体育网页登陆平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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