碳化硅材料及器件的制造装备发展现状

打印

摘要摘要：在科技飞速发展的当今，碳化硅产业在全世界都稳健发展着。我国在吸取国际上的经验后，宽禁带半导体产业也形成了一定规模。从业者应将国外的先进技术作为借鉴，根据其经验，全面提高国产碳化硅的制造与研发能力。本文将对碳化硅行业现状以及技术难点进行论述，并分析未来发展趋势。

DOI rdx2696kjl/5254197

作者刘涛杨敏，孙琪，郑彬彬

机构地区山西烁科晶体有限公司 030024

出处《科学与技术》 2021年6期

关键词碳化硅宽禁带半导体产业制造

出版日期 2021年06月09日（中国Betway体育网页登陆平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

1杨继光;马丽娟;马泉山.碳化硅及碳化硅制品.陶瓷工业,2002-04.
2韩冰冰杨胜国.碳化硅功率器件的研究方向.电力系统及自动化,2017-05.
3Bettina Rubino;Michele Macauda;Massimo Nania;Simion Buonome;张惠惠(译);周新田(译);穆辛(校).不同碳化硅器件的直接比较.电路与系统,2013-03.
4杨敏,刘涛，孙琪，郑彬彬.国内外碳化硅功率器件发展综述.建筑技术科学,2021-06.
5潘三博;黄军成;刘建民.碳化硅功率器件在电力电子中的应用.电机,2013-03.
6.碳化硅长纤维.无机化工,2001-04.
7傅强，王成，顾卿，胡晓波.碳化硅 SiC的特性及应用现状与发展.建筑技术科学,2020-09.
8高婷婷杨鹏飞.超强隔离无线传输高压碳化硅器件驱动电源的设计.电力系统及自动化,2017-11.
9徐本平.红外吸收法测定炼钢碳化硅类脱氧剂中的碳化硅.化学,2012-04.
10徐飞;吉晓莉.碳化硅泡沫陶瓷的制备.材料科学与工程,2009-01.