0.4~0.25μm时代的腐蚀技术

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    摘要   1前言  1994年开始大批量生产16MDRAM,作为研究开发阶段也是从以64MDRAM为代表的0.4μm器件过渡到以256MDRAM为代表的0.25μm器件.  ……
    作者
    机构地区 不详
    出处 《电子与封装》 2002年5期
    出版日期 2002年05月15日(中国Betway体育网页登陆平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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