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2019年20期
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晶体炉称重模块的被动隔振研究
晶体炉称重模块的被动隔振研究
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摘要
摘要:针对晶体生长炉称重模块的振动导致测得重量值的跳动,提出针对该模块的被动减振系统模型通过 MATLAB软件仿真,从中选取减振效果最好的参数,由最终分析结果可得,加入的减振系统具有良好的减振性,提高称重模块的稳定性,取得了较好的效果。
DOI
zdl70lg84l/4566088
作者
张军胜
唐静媛
杨军良
刘云霞
机构地区
西安理工大学 陕西西安 710048
出处
《科学与技术》
2019年20期
关键词
晶体炉
被动减振
参数优化
分类
[必威国际登录平台是什么][建筑技术科学]
出版日期
2020年04月07日(中国Betway体育网页登陆平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
科学与技术
2019年20期
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