摘要
大音阶的第五音胶化旋转涂层在Pt/Ti/SiO2/Sisubstrate上准备的Pb(Zr0.4Ti0.6)O-3电影作为最高的电极与磅或Ru被用于铁电体电容器。为thePt/PZT/Pt和Ru/PZT/Pt铁电体电容器，尽管与一样的铁电体他，不同最高的电极材料招致PZT电容器的不同性质例如疲劳，漏，残余、浸透的极化，除了PZTfilm的类似的水晶取向。在(10)10交换周期以后，Ru/PZT/Pt和Pt/PZT/Ptcapacitors的残余的极化分别地减少到70%和84%。在(8)10交换周期以后，后者的漏水流密度在积极偏爱显然增加，与前者相比。为最高的电极的Differentmaterials在PZT/top电极接口带不同条件。在PZT/electrode接口和在到充电注射的PZT/electrode接口的电极材料的氧化物的影响的氧空缺集中的Theinfluence能作为最高的电极与磅或Ru解释PZT电容器的性质的差别。
出版日期
2006年04月14日（中国Betway体育网页登陆平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
