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Effects of Flow Rate Variation on SiCln （n 〈 3） Densities in SICl4 Plasmas

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DOI 54yy9g8m40/398528

作者王照奎;林揆训;林璇英;娄艳辉;祝祖送

机构地区不详

出处《中国物理快报：英文版》 2006年1期

关键词流动速率变化等离子体密度光谱测定法参数沉积薄膜

分类 [理学][物理]

出版日期 2006年01月11日（中国Betway体育网页登陆平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

中国物理快报：英文版

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