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气相沉积

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DOI n49e00q7dy/361035

作者

机构地区不详

出处《表面工程：英文版》 2005年4期

关键词气相沉积

分类 [金属学及工艺][金属表面处理]

出版日期 2005年04月14日（中国Betway体育网页登陆平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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