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集成电路用半导体材料智能制造应用研究

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摘要摘要集成电路用半导体材料智能制造应用研究将为我国电子级多晶硅产业的发展指明方向，通过整个电子级多晶硅生产、运营系统的智能化改造，将大大提升电子级多晶硅生产过程中各装置的自动化控制水平，降低人员操作强度和人为操作对生产系统的干预，提高生产效率，提高生产运行和产品质量稳定性。实现集成电路用半导体材料的国产化自给，为国家集成电路产业原材料提供战略保障。

DOI 3j7qw6z5d1/3068653

作者杜李杰

机构地区 (深圳柔宇显示技术有限公司广东深圳518000)

出处《电力设备》 2018年13期

关键词集成电路用半导体材料智能制造应用研究

分类 [电气工程][电力系统及自动化]

出版日期 2018年12月22日（中国Betway体育网页登陆平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）