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宽带隙薄膜材料核化与生长机制及其性质的研究
宽带隙薄膜材料核化与生长机制及其性质的研究
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摘要
宽带隙金刚石膜及立方氮化硼薄膜由于其优异的物理性质和低成本,在机械、电子、光学及军事工业等部门有广阔的应用前景。
DOI
k5joe52n4v/199336
作者
机构地区
不详
出处
《工业金刚石》
2004年4期
关键词
宽带隙薄膜材料
金刚石膜
立方氮化硼薄膜
核化
生长机制
物理性质
分类
[金属学及工艺][刀具与模具]
出版日期
2004年04月14日(中国Betway体育网页登陆平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
工业金刚石
2004年4期
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