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宏孔硅光辅助电化学腐蚀光谱响应特性研究

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摘要设计了硅光辅助电化学腐蚀光谱响应曲线的测量实验,计算了在氢氟酸溶液中n型硅的光谱响应特性曲线,发现随着波长的增加,光谱响应度明显增加.选择卤素灯和LED（850nm）作为光源,测量了n型硅光辅助电化学腐蚀I-V曲线,结果证明,光随着波长的增加在硅中的穿透深度也增加是导致光谱响应度和波长成正比的根本原因.

DOI pj0k6k604y/1800251

作者杨炳辰;于金豪;王国政;杨继凯;端木庆铎

机构地区不详

出处《岭南师范学院学报》 2017年6期

关键词宏孔硅光辅助电化学腐蚀光谱响应 LED

分类 [文化科学][教育学]

出版日期 2017年06月16日（中国Betway体育网页登陆平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）