首页 > 《中国电子科学研究院学报》 > 2016年2期 > 基于原子扩散的蓝宝石芯片键合技术研究

基于原子扩散的蓝宝石芯片键合技术研究

打印

在线阅读下载PDF 导出详情

摘要本文基于原子扩散理论模型,试图介绍一种蓝宝石芯片直接键合技术,给出一定扩散距离下键合温度与键合时间的关系;开展了蓝宝石芯片键合的试验研究;初步制作了键合样品。经测试,键合强度达到0.5MPa,验证了蓝宝石芯片直接键合的可行性。

DOI 5jo6qg9njv/1627336

作者吴亚林;王世宁;曹永海;王伟;史鑫

机构地区不详

出处《中国电子科学研究院学报》 2016年2期

关键词蓝宝石芯片原子扩散直接键合

分类 [电子电信][物理电子学]

出版日期 2016年02月12日（中国Betway体育网页登陆平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

相关文献

1晓音.蓝宝石戒指.中国文学,2017-09.
2.苏门答腊蓝宝石.教育学,2006-01.
3宋繁龙.蓝宝石加工工艺研究.,2023-07.
4.蓝宝石芯片将促进电子产品微型化.光学工程,1998-01.
5李俊玲（编）;辛小小（绘）.1颗蓝宝石.教育学,2010-04.
6冷明洋.森林里的蓝宝石.教育学,2010-06.
7陈璐.蓝宝石孔加工工艺研究分析.建筑技术科学,2023-08.
8袁鹰.蓝宝石晶片纳米级超光滑表面加工技术研究.文化科学,2018-12.
9书故梦.蓝宝石沉入塞纳河底.教育学,2013-05.
10鬼马星.蓝宝石戒指之谜（九）.中国文学,2010-07.

来源期刊

中国电子科学研究院学报

相关推荐

同分类资源更多

相关关键词

蓝宝石芯片原子扩散直接键合

返回顶部