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微米级膜层厚度的测量方法

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摘要利用扫描电镜对磷化处理轴承零件的磷化膜层进行了观察，并对磷化膜深度进行了测量。经分析得知利用扫描电镜的测量功能对磷化膜层深度进行测量是可行的，得到了一种微米级磷化膜层深度的测量方法。

DOI pj0xgz2wjy/1303303

作者张玲;杨争;王毅哲;东卫红

机构地区不详

出处《轴承技术》 2013年3期

关键词扫描电镜磷化膜层测量方法

分类 [机械工程][机械制造及自动化]

出版日期 2013年03月13日（中国Betway体育网页登陆平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

轴承技术

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