Preparation of MgO Films as Buffer Layers by Laser-ablation at Various Substrate Temperatures

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    摘要 MgO薄电影被激光脱离在各种各样的底层温度(T潜水艇)下面在Si(100)底层上扔,期望提供为Si底层上的功能的perovskite氧化物电影的粗糙的生长的候选人缓冲区层。比较喜欢的取向,crystallinity和这些电影的表面形态学上的T潜水艇的效果被调查。MgO电影在单相在473973K被获得。与增加T潜水艇,这些电影的比较喜欢的取向变化了从(200)到(111)。crystallinity和表面形态学也是不同的,依靠T潜水艇。在Tsub=673K,MgO电影变得一致、光滑,展出高crystallinity和一块稠密的质地。
    机构地区 不详
    出版日期 2011年05月15日(中国Betway体育网页登陆平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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